11月4日，陕西光电子先导院科技有限公司（以下简称“光电子先导院”）总经理杨军红对外公布，“8英寸先进硅光集成技术创新平台”（简称“8英寸硅光平台”）已成功通线。该平台可为光子产业的各类创新主体提供光电、硅光芯片的研发与中试服务。

此平台总投资达7.5亿元，于2023年末开始建设。它引进了比利时IMEC的“130nm硅光芯片工艺包”，配备了光刻、刻蚀等60多台（套）关键核心设备。在130nm有源集成硅光主工艺平台的基础上，开发90nm以上的先进工艺，现已构建起自主可控的先进工艺体系。

硅光芯片是基于硅材料微纳加工工艺的光电芯片，其作用是实现光学变换或光电转换。硅光芯片的核心优势在于借助成熟的硅工艺达成高集成度与低成本，同时具备光子信号高速、低损耗、抗干扰等特性，已在人工智能、智能驾驶、医疗健康等领域得到广泛应用。

长久以来，国内硅光创新产业项目面临着“产线建设困难、产品无法验证、产能缺乏话语权、市场风险高”等共性难题。国内企业依靠国外平台流片以及量产线流片，不仅要支付高额的流片费用，还面临流片周期长、产能优先供给受限等问题。而自建产线需要巨额的设备和产线建设投入，让众多中小企业和科研团队望而却步。

与标准量产代工厂不同，中试平台通过小批量试产和全流程验证，解决工艺不稳定、成本不可控等问题，将实验室成果转化为可量产的产品，能够提高产业化的成功率。目前，武汉、北京、上海、重庆等地已有硅光中试线在运营。

陕西光电子先导院副总经理付鹏表示：“从硬件方面来看，大家的设备选型配置没有本质差异。随着我们的硅光平台正式通线，光电子先导院形成了‘6英寸化合物光电芯片 + 8英寸硅光芯片’的双平台格局，成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体，能够有效缩短光电、硅光客户的流片周期，降低研发成本。”

杨军红用“天高任鸟飞、海阔凭鱼跃”来形容光子产业的市场发展空间。目前陕西省已形成光子材料与芯片、先进激光与光子制造、光子传感三大核心产业集群，汇聚了379家光子领域硬科技企业，总产值超350亿元。她认为，从技术层面而言，中试平台需要满足客户的定制化需求，在技术上不易同质化，同时要在运营模式上进行探索，找到新的合作模式来共享成果。她还提到目前公司正在进行新一轮融资，主要用于工艺研发。

杨军红透露，光电子先导院正在构建“化合物半导体 + 硅光 + 异质异构集成”三位一体的平台架构，为光通信、生物传感、人工智能等前沿领域提供关键支撑，助力陕西成为光子产业的高地。

（文章来源：第一财经）

原标题：总投资7.5亿元，陕西8英寸硅光平台正式通线

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